深圳“国家队”新凯来出圈，发布多款设备

【蜂耘网 电子电工】近日，一家来自中国深圳的企业 —— 新凯来技术有限公司（以下简称“新凯来”），在SEMICON China（中国国际半导体展） 首次亮相，便崭露头角。该公司成立于2021年，成立仅3年，便有着“全系列半导体设备供应商”的身份。

新凯来隶属于深圳市重大产业投资集团（深圳国资委全资控股），是深圳“20+8”产业集群战略的核心布局之一。企查查显示，深圳市深芯恒科技投资有限公司持有新凯来100%股份，通过股权穿透，深圳市深芯恒科技投资有限公司背后股东为深圳国资委全资控股。自成立以来，经过深圳市深芯恒科技投资有限公司的3轮投资，新凯来目前注册资金为人民币15亿元。

公开资料显示，新凯来的核心团队具备20年以上电子设备技术开发经验，还联合了众多国内半导体制造设备和零部件合作伙伴，为国内半导体设备厂、FAB厂、电子电器设备厂、研究机构提供先进的解决方案，相关产品广泛应用于国内顶级制造企业和研究、测试机构。

新凯来在展会上展示的产品涵盖了半导体制造的全过程，包括工艺装备和量检测装备两大系列。在工艺装备方面，新凯来展示了扩散装备 RTP（三清山）、EPI（峨眉山）；刻蚀产品 ETCH（武夷山）；薄膜产品 PVD（普陀山）、CVD（长白山）、ALD（阿里山）。

“峨眉山”系列是12英寸单片减压外延生长设备，针对不同的外延应用（如锗硅外延、磷硅外延等）提供解决方案，支持先进工艺的发展。

三清山系列包括三种不同应用的RTP设备，分别针对栅极氧化/氮化、超快尖峰退火、均温/尖峰退火等工艺，具备高精度的控制和先进工艺支持能力。

武夷山系列包括三款刻蚀设备，分别是用于介质刻蚀、硅/金属刻蚀和高选择性刻蚀的设备。这些设备采用不同的等离子体技术（如CCP和ICP），满足先进节点对精细刻蚀的需求。

普陀山系列（PVD）、阿里山系列（ALD）和长白山系列（CVD）者三个系列共八款薄膜设备，例如，普陀山1号针对金属平面膜沉积，阿里山1号则提供高保形性介质薄膜沉积，而长白山1号致力于介质薄膜沉积。

在量检测装备方面，新凯来展示了光学检测产品岳麓山 BFI、丹霞山 DFI、蓬莱山 PC、莫干山 MBI；光学量测产品天门山 IBO、天门山 DBO；PX 量测产品沂蒙山 AFM、赤壁山 -XP XPS、赤壁山 -XD XRD、赤壁山 -XF XRF；功率检测产品 RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。这些量检测设备在量测精度、重复性等关键性能指标上达到了行业先进水平，为半导体制造过程中的质量控制提供了有力保障。

新凯来的地址显示为深圳龙岗区平湖街道新凯来园区，据悉，新凯来园区内共有16栋楼，包括办公楼、公寓楼、研发厂房、生产厂房及仓库等，园区占地面积较大。

在半导体设备方面，新凯来在系统架构、硬件、器件和算法方面全民布局，其设计理念为“一代工艺，一代材料，一代装备。新凯来的横空出世，被称为“中国半导体设备领域的DeepSeek”， 类比在AI领域突破。

（蜂耘电工电工网 责任编辑：似也）