AMHS模式正在经历一场变革,晶圆搬运机器人破解半导体整厂自动化难题
【蜂耘网 机器人】随着半导体自动化技术的快速发展,AMHS模式正在经历一场变革,单依靠轨道铺设的OHT部署过程难度大、造价高,目前只有12寸及以上的尖端晶圆制造厂才有机会引入;而兼具自主移动和操作性能的晶圆搬运机器人具有高柔性和高效率的特点,正成为各大半导体工厂物流自动化的新选择。
作为国内晶圆搬运机器人头部企业代表,优艾智合机器人针对半导体生产打造了覆盖仓库到线边缓存、Inter Bay到Intra Bay,以及Intra Bay间自动化上下料等全场景的晶圆搬运机器人物流自动化解决方案,服务了台积电、中芯国际等众多全球知名半导体厂商。
优艾智合自主研发的Fusion SLAM算法,可以实现晶圆搬运机器人的跨场景或者在复杂环境下以亚毫米级的精度保持稳定移动,同时能在在不停机的情况下适配厂区扩容、设备更新、布局调整等实际变化。与此同时,YOUI TMS软件系统可以实时与RTD、EAP、MCS的数据交互,根据整厂的生产节奏智能生成和拆合物流订单,让物料集约化地流转,确保物流综合效率更优。
在性能方面,晶圆搬运机器人不仅要满足半导体车间洁净度等硬性指标的要求,还要适配更多种类的夹具,以满足所有半导体生产设备的上下料需求,且晶圆搬运机器人的单体智能要足够强,保证生产良率、提高产能,让生产更柔性。
在系统协同方面,晶圆搬运机器人作为主要运输设备,需要符合SEMI的协议标准要求,也需要与主流智慧生产系统协同打通。这也对晶圆搬运机器人软硬件系统的开放性提出了更高要求。
优艾智合历经两年打磨推出的OW系列,可满足CLASS-1无尘室级别的要求,正常搬运时的振动值在0.2G以内,优于国际SEMI标准规定的0.5G,在Intra Bay,OW系列支持敏捷换装针对FOUP \ SMIF Pod \ Open Cassette \ Shipping Box \ Magazine等多种治具的套件,除晶圆搬运外,能够满足绝大多数半导体领域的机台上下料需求。晶圆搬运机器人工作于强辐射、高洁净等级、高震动等级要求的场景,具备高度的场景适配性。
未来,优艾智合将长期深耕半导体行业,业务覆盖第一、二、三代半导体制造的衬底、外延、FAB、掩模、封测等细分领域的全生产环节,助力实现Fully Auto。
原标题:晶圆搬运机器人破解半导体整厂自动化难题
(蜂耘机器人网 责任编辑:梅子)
随着半导体自动化技术的快速发展,AMHS模式正在经历一场变革。
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2022-08-25
- 2022-10-24
- 2022-10-13
- 2022-09-30
- 2022-10-18
- 2023-03-29
- 2022-11-17
- 2022-10-25
-
一文了解查理·芒格:为什么他是巴菲特最推崇的人
来源:
①巴菲特写道,“如果没有查理的灵感、智慧和参与,伯克希尔-哈撒韦公司不可能发展到今天的地位”;
②芒格曾表示,“如果世上未曾有过查理·芒格这个人,巴菲特的业绩依然会像现在这么漂亮 ”
③两周前,芒格还公开在节目中维护93岁的老友巴菲特。넶46 2023-11-29 -
面壁者,拉里·佩奇
来源:中欧商业评论
这两年,硅谷钢铁侠埃隆·马斯克在社交媒体上口无遮拦,这为他的公司引来了铺天盖地的负面新闻,然而,他的好友、谷歌联合创始人拉里·佩奇却因为看不到人同样被媒体炮轰多时。他已经在公共视野中消失太久了。넶155 2022-06-15 -
百岁中科院院士文圣常逝世!被誉为我国海浪研究的“点灯人”
来源:南方都市报
3月21日上午,中国海洋大学发布讣告,中国科学院院士、著名物理海洋学家、该校教授文圣常,因病医治无效,于3月20日15时37分在山东青岛逝世,享年101岁。넶181 2022-03-21
-
-
南京人工智能大会即将召开!汇聚业界智慧 共探AI无限可能
来源:蜂耘网
南京人工智能大会计划于6月27日在南京举行,大会以“产业变革,抓住机遇”为主题,共同探讨人工智能产业的最新技术、新的应用场景以及未来的发展趋势等问题。넶15 2024-06-18 -
苏州人工智能大会即将盛大开启:产业变革,抓住机遇
来源:蜂耘网
近日,由蜂耘网主办的苏州人工智能活动即将拉开帷幕。本次大会旨在汇聚业界精英,届时,与会者将会共同探讨AI技术的最新发展趋势,推动科技创新与产业深度融合。넶20 2024-06-14
- 2024-06-27
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-27
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26
- 2024-06-26