SML CEO：美国禁售EUV光刻机致中国芯片技术落后西方10-15年

【蜂耘网 电子电工】在半导体制造行业，DUV（深紫外）光刻机可以用于制造7nm及以上工艺的芯片，涵盖了大部分数字芯片和几乎所有的模拟芯片，而ASML则凭借着对EUV光刻机和浸润式DUV光刻机的垄断，掌控着全球几乎所有晶圆厂的芯片制造命脉。

2024年4月，克里斯托夫·富凯（Christophe Fouquet）接替CEO彼得·温宁克（Peter Wennink）和CTO马丁·范登布林克（Martin van den Brink），开始管理光刻机巨头ASML（阿斯麦）。这一对传统的荷兰二人组共同领导了ASML约11 年，直到他们退休，目前范登布林克仍是ASML的战略师。

近日，作为ASML CEO的富凯在接受荷兰《新鹿特丹报》（NRC）采访时指出，由于美国禁止向中国出口EUV（极紫外）光刻设备，中国芯片制造技术与英特尔、台积电和三星等行业巨头相比，将落后西方10到15年。

ASML几乎掌握全球晶圆厂命脉

今年10月16日，ASML发布2024财年第三季度财报显示，销售额为75亿欧元，高于预期目标，这主要得益于DUV曝光系统销售和装机售后服务的增加，该季度毛利率为50.8%，低于上一季度，净利润21亿欧元。

在半导体制造行业，DUV（深紫外）光刻机可以用于制造7nm及以上工艺的芯片，涵盖了大部分数字芯片和几乎所有的模拟芯片，而ASML则凭借着对EUV光刻机和浸润式DUV光刻机的垄断，掌控着全球几乎所有晶圆厂的芯片制造命脉。

世界上几乎90%的芯片，都是由ASML曝光系统生产。美国与ASML形成联盟后，可以说控制住了全球的芯片制造产业，特别是先进芯片制造产业。

随着先进制程向5nm及以下进化，EUV成为未来光刻技术和先进制程的核心，目前全球仅ASML一家能够制造。富凯表示，美国对EUV设备的出口禁令导致中国无法获取尖端光刻机，这严重影响了中国芯片制造技术的发展。

如果没有EUV，短时间内难以赶上

自1988年交付首台步进式（stepper）曝光机以来，今年是ASML深耕中国市场的第36年。2024年1月2日，ASML发布声明称，荷兰政府部分撤销了此前颁发的NXT:2050i和NXT:2100i光刻机在2023年发货的出口许可证，这将对ASML在中国的个别客户产生影响。

作为世界上最大的芯片市场之一，西方国家这样的限制无疑给中国芯片制造业的发展带来了巨大的挑战。虽然中国可以通过自主研发和引进其他国家的设备来提升芯片制造能力，但要在短时间内弥补与西方先进国家的差距并不容易。

富凯指出，ASML与合作伙伴从基础工作到完成商用机器再到构建EUV生态系统，花了20多年的时间。中国虽然不需要从零开始，但当中国半导体行业搞定Low-NA EUV时，西方已经有High-NA EUV甚至Hyper-NA EUV设备了。这意味着即使中国在未来成功研发出自己的EUV光刻机，也可能已经落后于西方先进国家的技术水平。

ASML不愿在DUV上与中国切割

目前，中国大陆拥有先进的DUV设备，如Twinscan NXT:2000i，可以用来生产5nm与7nm芯片。然而，即使是最先进的DUV设备，在工艺技术层面也难以企及使用EUV设备生产的高端芯片。

此外，美国还不断向ASML施压，要求其停止在中国维护和维修DUV设备。要知道中国仍然是ASML的最大市场之一，占其2024年第三季度销售额的47%左右，达27.9亿欧元。事实上，从2023年第三季度荷兰出口政策收紧以来，中国已连续五个季度成为阿斯麦最大的市场，占比都在40%以上。

所以尽管面临来自美国的压力，荷兰政府至今尚未同意完全切断ASML与中国客户之间的联系。一方面是为了保持对中国市场的影响力，至于另一方面——ASML表示，如果中国厂商自己接手维护，敏感技术可能外泄，这将对ASML的市场地位造成威胁。因此，ASML希望继续保留对中国大陆DUV设备的控制权。

尽管如此，中国芯片制造业仍在不断发展壮大。数据显示，今年1-10月，中国半导体出口达9311.7亿元，增长21.4%。同时，中国公司仍在研发自主创新的芯片制造工具，努力提升本土芯片制造能力。

“中国要想在短时间内弥补与西方先进国家的差距并不容易。” 富凯强调，经营一家成功的芯片工厂不仅需要大量的资金投入，还需要不断学习和尝试，这需要数年时间。因此，中国芯片制造业要想迎头赶上，还需要付出更多的努力和时间。

来自中国的需求可能在未来一段时间内放缓，美国在芯片半导体领域持续对华无理打压，也仍将是ASML股价长期面临的压力。瑞银（UBS）分析师称，ASML 2025年可能失去近四分之一在华销售额，若限制措施持续，其在华产生的整体收入中还有45%将面临风险。

半导体市场复苏进程不及预期

尽管面临外部压力，富凯强调ASML不会消极等待外界的指令，而是会积极主动地采取应对策略。他表示，ASML在全球半导体产业中扮演着至关重要的角色，并且这种状况在未来仍将持续存在。

ASML预计，半导体市场的复苏进程比先前的预期缓慢，2024年第4季ASML的销售额将达88亿到92亿欧元之间，毛利率介于49%到50%，其中包括经客户验收后首次确认收入的两台高数值孔径极紫外光（High NA EUV）曝光机。因此2024年全年，ASML的销售额为280亿欧元左右。

预计到2025年，ASML总净销售额将增长到300亿到350亿欧元之间（先前指引为300到400亿欧元），毛利率介于51%到53%之间，远低于先前公司预测值。

“我们正在为世界做一些举足轻重的事情，凭借着令人瞩目的市场地位，我们每日都全力以赴，然而也因此承受着各方的关注与外在压力，并且这种状况在未来仍将持续存在。”富凯说，“中国、美国以及每个政府都将ASML视为拼图中的关键部分。”

富凯强调，“如果剩下几个大公司，对创新来说会更好。我毫不怀疑三星将会复苏。竞争对手也希望看到英特尔再次表现出色。但如果犯的错误太多，就很难联系起来。英特尔的复苏对美国具有重要的战略意义。这是他们能够继续自己制造先进芯片的唯一途径。”

（蜂耘电工电工网 责任编辑：似也）